1近常压XPS真空系统，包含分析腔和快速进样腔
1.1 分析腔采用μ金属腔体或不锈钢腔体加消磁线圈
1.2 分析腔配备分子泵以及前级泵，真空≤5×10-9 mbar
1.3 快速进样腔采用不锈钢腔体
1.4 快速进样腔配备分子泵和前级泵，真空≤5×10-8 mbar
2电子能量分析器
*2.1 半球型，平均半径150 mm
*2.2四级差分抽气系统，一级和二级差分抽气之间配有阀门，可以实现真空腔体进气时保证分析器的真空度
2.3工作压力最大可达25 mbar
*2.4分析器接收角：≥44o
2.5 工作距离 300-500μm
2.6 八个入口狭缝，三个出口狭缝
2.7 能量分辨率 ≤10 meV
*2.8探测能量范围可达3.5 keV
*2.9 Ag 3d峰计数率（在Al靶X光源束斑≤250 μm, 20 W条件下）：
≥70 kcps在UHV条件；≥7 kcps 在10 mbar N2条件；≥0.5 kcps在25 mbar N2条件
*2.10 配有一维探测器（ADCMOS）
3 单色化阳极靶微聚焦X射线光源
*3.1 类型：单色化Al/Ag/Cr三阳极靶
*3.2工作范围：10-10 – 25 mbar
3.3 Al靶光斑尺寸： ≤ 200 μm
3.4 Al靶光通量≥1.0x1010 photons /s; Ag靶光通量≥1.0x109 photons/s，Cr靶光通量≥1.0x1010 photos/s
3.5 配有差抽系统
3.6 配套水冷机组，最大水压可达9 bar
4 进气气路
4.1配有三路进气管路系统，配备质量流量计，用于气体通入
4.2带有自动压力控制，压力范围：1-30 mbar
5 分析腔四轴全自动样品架
5.1四轴样品架移动范围：
X = ±12.5 mm
Y = ±12.5 mm
Z 方向范围随系统配置
P = ±180° polar（极角）
5.2 四轴全自动化马达
*5.3配备150 W红外激光加热器，在25 mbar N2条件下，样品温度最高可达1000 ℃
5.5 配有液氮冷却，样品温度可到150 K
6. 紫外光源
6.1 束流密度＞2x1016 photons/(sec x sterad)
*6.1 能量分辨率：FWHM＜2meV
6.3 可用气体：He、Ne、Ar等
6.4 样品上束斑尺寸：＜500μm
*6.5 可在近常压环境下进行UPS测试；
更多详情请咨询：https://www.chem17.com/st640847/product_39205717.html
原文链接：http://www.okyyy.com/hangqing/19497.html，转载和复制请保留此链接。
以上就是关于麦科威 近常压X射线光电子能谱仪全部的内容，关注我们，带您了解更多相关内容。
以上就是关于麦科威 近常压X射线光电子能谱仪全部的内容，关注我们，带您了解更多相关内容。